Piezorezistivní akcelerometr

Jádrem piezorezistivního akcelerometru je piezorezistivní efekt. Využívá mikroobrobený konzolový paprsek nebo zkušební hmotu vyrobenou z polovodičových materiálů, jako je křemík. Když akcelerometr zaznamená zrychlení, setrvačná síla způsobí deformaci zkušební hmoty. Tato deformace natahuje nebo stlačuje piezorezistivní materiál připojený k paprsku, což vede ke změně jeho elektrického odporu. Měřením této změny odporu (typicky pomocí obvodu Wheatstoneova můstku) lze přesně vypočítat velikost zrychlení.

Piezorezistivní akcelerometry nabízejí díky svému jedinečnému principu činnosti vysokou citlivost, široký rozsah měření, robustní strukturu a vysokou-frekvenční odezvu. Obecně však mají vyšší spotřebu energie a jsou citlivé na teplotu (vyžadují teplotní kompenzaci).

Na základě těchto charakteristik se jejich aplikace primárně zaměřují na oblasti, které vyžadují měření vysoko-frekvenčních, vysoce{1}}dopadových (vysoká-g) dynamických událostí.