Keramický kapacitní snímač absolutního tlaku

Keramický kapacitní snímač absolutního tlaku je typ snímače, který jako materiál jádra používá aluminovou keramiku a měří tlak vzhledem k absolutnímu referenčnímu bodu vakua detekcí změn kapacity.

 

Jednoduše řečeno, je to "variabilní kondenzátor", který přímo převádí tlak na změnu kapacity, přičemž jeho referenční dutina je hermeticky uzavřena ve vakuu.

Jeho hlavní součástí je keramické kapacitní snímací jádro, které se obvykle vyrábí pomocí technologie více{0}}spolu{1}}vypalování:

Struktura:Skládá se z keramického substrátu s pevnou elektrodou a tenkého keramického filmu (membrány), který funguje jako pohyblivá elektroda, spojených dohromady při vysokých teplotách pomocí skleněné frity.

Po spojení se mezi nimi vytvoří extrémně malá, hermeticky uzavřená vakuová referenční dutina. To je klíč k dosažení absolutního měření tlaku.

Tato struktura tvoří paralelní-deskový kondenzátor:

• Deska 1: Pevná spodní elektroda (vytištěná na keramickém substrátu).
• Deska 2: Pohyblivá horní elektroda (samotná keramická membrána, obvykle pokovená).
• Dielektrikum: Vakuové (uvnitř referenční dutiny) a keramika.

• Počáteční stav:Za absolutního vakua je keramická membrána nedeformovaná a hodnota kapacity je počáteční hodnota C₀.
• Aplikovaný tlak:Když vnější tlak (absolutní tlak) působí na vnější stranu keramické membrány, membrána prochází mírnou ohybovou deformací směrem k vakuové referenční dutině.
• Změna kapacity:Tato deformace způsobuje zmenšení vzdálenosti mezi dvěma kondenzátorovými deskami.
  Podle vzorce C=εA/d pro paralelní-deskový kondenzátor (kde ε je permitivita a A je relativní plocha desky) má úbytek vzdálenosti za následek zvýšení hodnoty kapacity C.

• Měření signálu:Následující vyhrazený obvod (obvykle ASIC -Aplikační-specifický integrovaný obvod) detekuje tuto nepatrnou změnu kapacity, převede ji, zesílí a linearizuje a nakonec vydá standardizovaný signál (např. napětí nebo digitální signál) úměrný absolutnímu tlaku.

Populární Tagy: keramický kapacitní snímač absolutního tlaku, dodavatelé keramických kapacitních snímačů absolutního tlaku v Číně